深圳市展业达鸿科技有限公司

　　一、MCD双向气体质量流量控制器规格

　　器件的定制范围从 0.5 SCCM 满量程 到3,000 SLPM 满量程。

　　0.5 SCCM 满量程至5 SCCM 满量程范围的规格表

　　10 SCCM 满量程至20 SLPM 满量程范围的规格表

　　50 SLPM至3,000 SLPM 满量程范围的规格表

　　二、MCD 系列标准规格

　　满量程范围： 0.5 SCCM 至 3000 SLPM

　　控制范围：满量程的 0.01% 至 100%

　　准确度：读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准

　　可选高精度：读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准

　　重复性： ±（读数的 0.1% + 满量程的 0.02%）

　　响应时间：*快 30 ms

　　预热时间： <1 s

　　工作温度： –10°C 至 +60°C

　　满量程工作压力： 160 PSIA

　　三、MCD双向气体质量流量控制器特点

　　多变量过程测量：同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。

　　用户可更改的测量单位：从我们广泛的工程单位列表中更改压力、流量或温度的测量单位。

　　气体选择：从我们气体列表中的 98 多种预加载 NIST 可溯源气体校准中选择您的工艺气体 。

　　Composer?：使用我们的Composer ? 固件定义多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。

　　带集成触摸板的单色背光 LCD： 使用背光显示屏和控制配置以及用户友好的集成触摸板轻松读取测量值。

　　用户可调节的设定点斜坡和限制：可配置的斜坡率允许根据需要控制过程变量的快或慢，可配置的设定点限制可保护过程免受无意的设定点更改。

　　用户可调节标准温度和压力 (STP) 条件： 快速 更改参考条件，无需重新校准。

　　阀门关闭覆盖和阀门打开覆盖：利用警报快速排放系统或根据需要停止所有流量。

　　四、MCD双向气体质量流量控制器配件

　　配件 | 分开售卖

　　工艺端口接头和过滤器

　　电源

　　通信电缆和转换电缆

　　BB3 和 BB9 多点分线盒